Наша Система обогрева двигателя обеспечивает точный и стабильный контроль температуры (±0,5 ℃) для линий подачи вакуума и газа в полупроводниковых процессах, осаждения из газовой фазы (CVD) и травления. Система разработана для предотвращения конденсации, отложений и засорения потоков, гарантируя стабильность технологических процессов и увеличивая срок службы оборудования.
Доступно несколько вариантов материалов в зависимости от ваших потребностей:
Силиконовая пена
Полный PTFE
Покрытие PTFE
Расширенный фтом
Система объединяет три основных компонента для надежного и интеллектуального теплового управления:
Нагревательные рубашки – Специально спроектировано под конкретные схемы трубопроводов и требования трассировки.
Контроллеры PID – Обеспечивают стабильность температуры в пределах ±0,5 ℃ с использованием выделенной связи RS485 и протокола Modbus RTU.
Шкафы управления HMI – Централизованное наблюдение и управление несколькими зонами нагрева в реальном времени.
Линий подачи газа – Поддержание контроля точки росы для опасных газов, таких как BCl₃, ClF₃, TEOS, DCS и WF₆.
Процессы CVD – Стабилизирует температуру паров прекурсора в системах LPCVD и PECVD (±1 ℃).
Травление металлов – Обеспечивает стабильную реакционную способность газа при плазменном травлении алюминия, вольфрама и других материалов.
| Особенность | Преимущество |
|---|---|
| Контроль точности | стабильность ±0,5 ℃ с ПИД-регуляторами, сертифицированными по ISO 15805. |
| Двойная система безопасности | Встроенный термостат KSD30 и термопредохранитель, соответствующий стандарту IEC 60691. |
| Экологичная теплоизоляция | Без ПАФ, потери тепла <5%, корпус из элегантной нержавеющей стали. |
| Умный мониторинг | Измерение тока в реальном времени по зонам, интеграция по MODBUS-TCP с HMI/SCADA. |
| Централизованное управление | Совместимость с платформами InTouch, iFix и другими SCADA-платформами для полного контроля системы. |
Наша Шкаф управления HMI объединяет все нагревательные муфты в один интерфейс, обеспечивая:
Мониторинг температуры и состояния в реальном времени
Регистрацию исторических данных и анализ тенденций
Автоматическую генерацию отчётов и уведомлений о тревогах (SMS, электронная почта, вызов)
Доступ с нескольких компьютеров и взаимное резервирование
Снижает сложность технического обслуживания и эксплуатационные расходы
Поддерживает масштабируемое расширение и управление сетью
Повышает воспроизводимость процесса и выход продукции в критически важных приложениях
Соответствует международным стандартам безопасности и производительности
Чтобы узнать, как наша система нагревательных муфт может оптимизировать управление тепловыми процессами, свяжитесь с нашей инженерной командой для получения индивидуального решения.
EN
