Vårt Värmesystem för väst säkerställer exakt och stabil temperaturkontroll (±0,5 ℃) för vakuum- och gasledningar i halvledar-, CVD- och ätsningsprocesser. Designat för att förhindra kondens, avlagring och flödeshinder, garanterar detta system konsekvent processprestanda och förlängd livslängd på utrustningen.
Tillgänglig i flera materialval för att passa dina tillämpningsbehov:
Silikonskum
Helt PTFE
PTFE-beläggning
Utvidgat ptfe
Systemet integrerar tre kärnkomponenter för att erbjuda tillförlitlig och intelligent värme hantering:
Värmekläden – Specialdesignad för specifika röruppläggningar och spårkrav.
PID-kontrollenheter – Säkerställ temperaturstabilitet inom ±0,5 ℃, med dedikerad RS485-kommunikation och Modbus RTU-protokoll.
HMI-styrskåp – Centralisera övervakning och styrning av flera uppvärmningszoner i realtid.
Gasleveranslinjer – Upprätthåller daggpunktskontroll för farliga gaser såsom BCl₃, ClF₃, TEOS, DCS och WF₆.
CVD-processer – Stabiliserar föregasstemperatur i LPCVD- och PECVD-system (±1 ℃).
Metalletchning – Säkerställer konsekvent gasreaktivitet i plasmaetching för aluminium, volfram och andra material.

| Funktion | Förmån |
|---|---|
| Precisionskontroll | ±0,5 ℃ stabilitet med ISO 15805-certifierade PID-regulatorer. |
| Dubbel säkerhetsfunktion | Inbyggd KSD30 termostat och termisk säkring enligt IEC 60691. |
| Miljövänlig isolering | Fri från PFAS, <5 % värmeförlust, innesluten i slank rostfritt stål. |
| Smart övervakning | Verklig ström per zon, MODBUS-TCP-integration med HMI/SCADA. |
| Centraliserad hantering | Kompatibel med InTouch, iFix och andra SCADA-plattformar för fullständig systemövervakning. |
Vårt HMI-styrskåp samordnar alla värmejackor till ett gränssnitt, vilket möjliggör:
Verklig temperatur- och statusövervakning
Loggning av historiska data och trendanalys
Automatiserad rapportering och larmmeddelanden (SMS, e-post, samtal)
Flera datorers åtkomst och ömsesidig säkerhetskopiering
Minskar underhållskomplexiteten och driftkostnaderna
Stöder skalbar utbyggnad och nätverkshantering
Förbättrar processens upprepbarhet och vinst i kritiska tillämpningar
Följer internationella standarder för säkerhet och prestanda

För att lära dig hur vårt värmefodralssystem kan optimera din process för termisk hantering, kontakta vår ingenjörsgrupp för en anpassad lösning.