Mūsų Šildymo liemenės sistema užtikrina tikslų ir stabilų temperatūros valdymą (±0,5 ℃) vakuumo ir dujų tiekimo linijose puslaidininkių, CVD ir apdirbimo procesuose. Sukurta neleisti kondensacijai, nuosėdų susidarymui ir srauto kliūtims, ši sistema užtikrina nuoseklų proceso našumą ir pailgintą įrangos tarnavimo laiką.
Prieinama keliais medžiagų variantais, atitinkančiais jūsų taikymo reikalavimus:
Silikono putos
Visiškai iš PTFE
PTFE apdaila
Išplestas PTFE
Sistema integruoja tris pagrindinius komponentus, užtikrindama patikimą ir protingą šilumos valdymą:
Šildymo liemenės – Projektuojama individualiai pagal specifinius vamzdynų išdėstymus ir laidų reikalavimus.
PID valdikliai – Užtikrina temperatūros stabilumą ±0,5 ℃ ribose, su atskira RS485 komunikacija ir Modbus RTU protokolu.
HMI valdymo skydeliai – Centrinis kelių šildymo zonų stebėjimas ir valdymas realiu laiku.
Duomenų perdavimo linijas – Palaiko rasčio taško kontrolę pavojingiems dujoms, tokioms kaip BCl₃, ClF₃, TEOS, DCS ir WF₆.
CVD procesai – Stabilizuoja pirmtakų garų temperatūrą LPCVD ir PECVD sistemose (±1 ℃).
Metalų etchavimas – Užtikrina nuoseklią dujų reaktyvumą plazmos etchavime aliuminiui, volframsiui ir kitiems medžiagoms.
| Ypatybė | Patalpa |
|---|---|
| Tikslumo kontrolė | ±0,5 ℃ stabilumas su ISO 15805 sertifikuotais PID reguliatoriais. |
| Dviguba saugos sistema | Integruotas KSD30 termostatas ir atitinkantis IEC 60691 šiluminis saugiklis. |
| Aplinkai draugiška izoliacija | Be PFAS, <5 % šilumos nuostolių, patalpinta elegantiškoje nerūdijančioje plieninėje dėžėje. |
| Geras stebėjimas | Tikro laiko srovė pagal zoną, MODBUS-TCP integracija su HMI/SCADA. |
| Centralizuotas valdymas | Suderinamas su InTouch, iFix ir kitomis SCADA platformomis visiškam sistemos stebėjimui. |
Mūsų HMI valdymo skydas suveda visas šildymo apvalkales į vieną sąsają, leidžiantį:
Tikro laiko temperatūros ir būsenos stebėjimą
Istorinių duomenų žurnalavimą ir tendencijų analizę
Automatinis ataskaitų generavimas ir įspėjamieji pranešimai (SMS, el. paštas, skambutis)
Prieiga iš kelių kompiuterių ir abipusė atsarginė kopija
Sumažina techninės priežiūros sudėtingumą ir eksploatacijos sąnaudas
Palaiko mastelio plėtimąsi ir tinklo valdymą
Pagerina proceso kartojamumą ir našumą kritinėse programose
Atitinka tarptautinius standartus dėl saugos ir našumo
Norėdami sužinoti, kaip mūsų šildymo apvalkalų sistema gali optimizuoti jūsų proceso šilumos valdymą, susisiekite su mūsų inžinierių komanda dėl individualaus sprendimo.
EN
