Vores Opvarmningssystem til jakke leverer præcis og stabil temperaturregulering (±0,5 ℃) til vakuum- og gasføringsslange i halvleder-, CVD- og ætsningsprocesser. Designet til at forhindre kondens, aflejringer og flodet blokering, sikrer dette system konsekvent procesydelse og længere udstyrets levetid.
Tilgængelig i flere materialevalg for at opfylde dine anvendelsesbehov:
Silikonskum
Fuld PTFE
PTFE-belægning
Udvidet ptfe
Systemet integrerer tre kernekomponenter for at levere pålidelig og intelligent termisk styring:
Opvarmingsjakker – Skræddersyet til specifikke rør-layouts og sporkrav.
PID-kontroller – Sørg for temperaturstabilitet inden for ±0,5 ℃ med dedikeret RS485-kommunikation og Modbus RTU-protokol.
HMI-styringskabinetter – Centralisér overvågning og kontrol af flere opvarmningszoner i realtid.
Gasudleveringslinjer – Opretholder dugpunktskontrol for farlige gasser såsom BCl₃, ClF₃, TEOS, DCS og WF₆.
CVD-processer – Stabiliserer forstadie damptemperatur i LPCVD- og PECVD-systemer (±1 ℃).
Metalætsning – Sikrer konstant gasreaktivitet i plasmaætsning af aluminium, wolfram og andre materialer.
| Funktion | Ydelse |
|---|---|
| Præcisionskontrol | ±0,5 ℃ stabilitet med ISO 15805-certificerede PID-regulatorer. |
| Dobbelt sikkerhedssystem | Indbygget KSD30 termostat og IEC 60691-kompatibel termisk sikring. |
| Miljøvennlig isolering | PFAS-fri, <5 % varmetab, indkapslet i slank rustfri stål. |
| Smart overvågning | Realtidsstrøm pr. zone, MODBUS-TCP-integration med HMI/SCADA. |
| Centraliseret ledelse | Kompatibel med InTouch, iFix og andre SCADA-platforme til fuld systemovervågning. |
Vores HMI-styringsskab samler alle varmejakker i et enkelt interface, hvilket muliggør:
Realtidsovervågning af temperatur og status
Logning af historiske data og trendanalyse
Automatiseret rapportering og alarmering (SMS, e-mail, opkald)
Flere computere kan få adgang og gensidig sikkerhedskopiering
Reducerer vedligeholdelseskompleksiteten og driftsomkostningerne
Understøtter skalerbar udvidelse og netværkshåndtering
Forbedrer procesgentagelighed og udbytte i kritiske applikationer
I overensstemmelse med internationale standarder for sikkerhed og ydelse
For at få mere at vide om, hvordan vores varmeforsyningssystem kan optimere din termiske proceshåndtering, skal du kontakte vores ingeniørteam for en skræddersyet løsning.
EN
