EN
Córas Leathaid Teasa
Cobhsaíocht Teochta : ±0. 5℃
Tá na sonraí seo ann de réir riachtanas:
Sileacán Foam Materical
Ful PTFE Material
PTFE Coating Material
Expanded PTFE Material
- Forléargas
- Táirgí Molta
Cur síos teicniúil:
Cuirtear tús le haghaidh tinnis an tSeoltaíne Teo in ionaid vacúid/soláthar gás
línte ar fud próiseas measúnaithe coimpléascacha. Deartha go saincheaptha do riachtanais ar leith aigc
cuaird, seachaintear tiúchan neamhiomlánach de reactant agus tiúchán na n-ábhar
ar bhallaí inta lár - rannpháirtí do chosc srutha agus éifeachtúlacht na ndíospóireachta
in ionaid vacúid/díospóireachta semionductúr. Tá sé danta as trí chuid is mó:
Leathaid Teasa (deasaíocht shonrach leanúnach)
Rialtóirí PID (±0.5℃ staidiúlacht)
Cabsáin Rialaithe HMI
cuireann an réiteach seo chumas stiúrthóireacht i real-time agus bainistiú teochta ar línte gáis fhiáin éadromha a choimeád.
Iarratais Rothaíne Teo :
1. Línte Soláthar Gáis
Gáis Prowessach Baoithreach :
Boron Trichloride (BCl₃), Chlorine Trifluoride (ClF₃), Tetraethyl Orthosilicate (TEOS)
Dichlorosilane (DCS/SiH₂Cl₂), Tungsten Hexafluoride (WF₆)
Bailíochtú Prowess rialú lucht teochta don rialú pointe déiridh agus cosc ar thiontú
2. Prowess CVD
Low-Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD)
Plasma-Enhanced CVD (PECVD)
Feidhm: Stabilacht teocht anréadáin réamhshnáimhe (±1℃)
3. Eitilint Píopa
Córais leachtála plasmach :
Eitilint Airgead (clóirín/BCl₃ cheadaiméid)
Eitilint Volfram (SF₆/WF₆ luchtanna)
Feidhm: Coinnigh doiltineacht an gháis cothrom
Saothair an tSeoltaíne Teo:
Catagóir Saothchumhachta |
Carachtair teicniúla |
Rialú cruinneas |
±0.5℃ stad le rialaitheoirí PID (teastais ISO 15805) |
Dearbhú Sábháilteachta |
Dáileoga sábháilteachta dúbailte: |
Insileáidh Éigeal |
Sliabh iontaisithe saor ó PFAS: |
|
Monatóireacht reatha i rithré: |
Rialaitheoirí teochta PID
Bainfidh an Córas Seoicthe Teo. úsáid as rialaitheoirí teochta PID chun rialú cruinn teirméadach a chur i bhfeidhm, ag feidhmiú gach rialaitheora ar shegment busa RS485 dírithe le seoltaíocht líonra amhain. Feidhmeann na haonaid PID seo mar mhódailí rialaithe neamhspleách chomh maith le nódanna comhtháite laistigh d'archatíocht líonra dháileithe. Trí úsáid a bheith ann ar an prótacal Modbus RTU tríd na comhéadain RS485, bíonn gach rialaitheoirí ag cumicáidh dáithreach leis an gcathaoir rialaithe HMI lárnach chun stiúracht teochta ioltra-reantaithe a chur i bhfeidhm agus aonadú sonraí i rithré gan dul i dteagmháil le PLC lárnach.
Painéal rialú hmi
Is íogair é aicmeach a bheith againn ar an gcloíocht agus ar na rialaitheoirí teochta PID ar phíobacha fanda nó gáis, rud a dhéanann sé impossible an teocht ar fheidhm agus stádas oibríochta na gcloíoch teochta go léir a mheasamh go coitianta. Chun an stádas ar fheidhm na gcloíoch teochta go léir a mheasamh go coitianta, chuir muid i bhfeidhm painéal rialaithe HMI a chuirfidh na cloíoch teochta go léir isteach i ardán amháin, ag scríobh rialú lárnach agus bainistiú cumarsáide.
An Córas Mheasarthóireachta Lárnach
Is féidir gach aicme – lena n-áirítear scáilnte mheasarthóireachta, taispeáin fógraíocht ar fheidhm, logaí fógraíocht stairiúla, taifeadtaí eachtraí stairiúla, cairteacha anailíse trend, agus foirmeacha taighde – a shocrú ar an gcéadchóras (ag úsáid ardán SCADA cosúil le InTouch nó iFix) chun mheasarthóireacht iomlánach a dhéanamh ar an gcóras Cloíche Teochta.
Buntáistí Córais:
• Bainistiú Efficisientí - Déanann séard é seo a thabhairt ar an gceardchlár oibríochta iomlán
• Cothabháil Simplithe - Laghdaíonn sé an dromchúlacht oibríochta agus cothabhála
• Feabhsú Costas - Laghdaíonn costais suiteála, oibríochta agus leathnúcháin
• Monatóireacht Idir-Ghléasán - Cuirann sé in ann monatóireacht dhátheangach idir ríomhairí iolracha
• Comhroinnt Acmhainní - Cuirfidh sé in iúl úsáid pháróiste acmhainní diosca
• Bacú Eisiach - Soláthraíonn sé feidhmchláir bacaíocht dhátheangach
• Fógraíochtaí Tríolach Alarma - Tacaíonn sé le fógraí SMS/glaoch agus nuashonruithe ríomhphoist
• Anailís Sonraí Iomlán - Cuirfidh sé in ann ceisteanna maidir le sonraí stairiúla a chur agus sonraí graifíocha a fheicint
• Tuairisciú Uathoibríoch - Géinéann páipéarta córais go huathoibríoch
• - Bainistiú Líonra - Cuirfidh sé chun cinn rianú airde bainistíochta córais
| - Tír Bhreac | - Clóth Teflon PTFE |
| Bonnán Éigeandála | - Píosa teasa leictreach PTFE nítriam agus cróim |
| Gealú | - Fíoghuailíníocht ardchumasachta fíbínneachta |
| - Materal Clótha Seachtrach | - Clóth Teflon PTFE |
| - Bocál Seasmhach | - Velcro neamhlochtaithe agus ina sheasmhacht teochta |
