Fridgeoir Dhá-Chanal

Cur síos teicniúil:

Fridges Dá-Chiorcuit Lingheng soláthar rialú teochta neamhspleách dá dheidh in aon aonad amháin.
Ag léiriú stabilité ±0.1℃ in aghaidh an chiorcuit , tá na córais seo inneallta chun:

Sioncrónú fuaraithe PVD/CVD seomraí

Bainistiú teochta iolrachonaí san tsaoladh uirlisí
Le 40% lú níos lú agus comhoideachas a bhfuil clú nárbh é a fhéadfadh an t-industriocht (AMAT/LAM/TEL), athainmníonn siad fuarú cruinneas éifeachtach spáis.

Bunbhearta:

Éifeachtúlacht Dhá-Aon
» Cuirfidh sé seo fridginne dáileogtha ar leithligh leictreacha neamhspleácha
→ Sábháilte 40% níos mó spás glan + Laghdú 30% ar CAPEX

Rialú Dúblach Uathcheartach
» Stabacht ±0.1℃ in aghaidh gach chiorcuit (ΔT<0. 2℃)
→ Chinntithe <3% éagsúlacht i gcruthú pláta i CVD/PVD

Comhtháthú Fhoilsitheoireachta
» Prótacóil AMAT/LAM/TEL ré-amhchódaithe
→ Совместимость с 90% инструментами 300 мм, на 65% меньше времени простоя

Energy TwinDrive™
» 35% níos lú fuinnimh i gcomparáid le páirceanna coitianta
→ Teastas SEMI S23, sábháilteacht bliantúil >$18k

Neart éagsúla gan aon chomhualú
» Páipéil éagsúla  + Naisc leis na lasair
→ Совместим с UPW/fluorinert/EGW

Cúrsaí & Oibríocht Chláracha:

Comhphánta	TEICNEOLAÍOCHT
COIMREÁLAÍ	Comhtharchúr leictreach gan straois le cosaint in aghaidh loitheadh le haghaidh leacht (±0. 1℃ rialú)
Condenser	Crua-ghalda, <5% caillteanas teochta
Greamaitheoir	Dearndúil pláta, 35% níos éifeachtaí, ≤55dB tonnluach
Bodhar	Teasraíocht dhíreach fhuartha, aonrud teochta ±0,3℃
An Ghlúin Sóivéadha	Bolttán leictreonach le rialú sú-thine ±1℃
Puimpe	Pumpa Pian-driodóige (leagan leithid fluorinated), <2% eitilt thosúcháin

Prionsabal Fhuaraithe:

Cúrsa Fhuaraithe PID Adhathach :
1️⃣ Comhphresáid → Brúthú ar an réfrigerant
2️⃣ Comhdhlúthú → Díluchtú teasa & leachtú
3️⃣ EEV Díneáil → Géneráidh Tarchur Íseal
4️⃣ Tineadh → Críochbhreith theasa cruinn ón mheicne
5️⃣ Rialú srutha inbéartóra → Déanann sé a choinneáil ±0. 1stabileacht ℃